氦质谱检漏仪分子泵维修案例

氦质谱检漏仪分子泵维修故障及处理

　　1、仪器界面上TMP显示“0"即分子泵没有工作

　　有可能是前级压力过高(该分子泵的启动压力为200Pa)导致分子泵无法启动。检查导致压力过高的项目有：真空规管是否有问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏或机械泵是否转动，系统是否有泄漏。也有可能是分子泵的叶片或转子被损害，可自行用工具拨动叶片，判断其能否转动。

　　2、分子泵加速指示灯不亮

　　电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。

　　3、分子泵故障灯亮

　　检查电路板设置开关是否处于R位置，此时应该在N位置。检查风扇是否停止，如风扇正常，则可能为氦质谱检漏仪分子泵电源故障

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